反射式膜厚測量儀

SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導體鍍膜，手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下，還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。

此外，SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內。A3-SR進行測量簡單可靠，實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量，每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內的模型并可對多層膜厚參數進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數據庫，同時支持函數型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同時，客戶還可以通過軟件自帶數據庫對材料，菜單進行管理并回溯檢查測量結果。目標應用：半導體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測量卷對卷柔性涂布光學膜其他需要測量膜厚的場合.

產品型號和系統(tǒng)設置：

光學測量技術參數（OPTICAL SPECIFICATION）

膜厚測量性能指標（THICKNESS SPECIFICATION）：

¹表內為典型數值, 實際上材料和待測結構也會影響性能

2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結構也會影響性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.

軟件(SOFTWARE)：